超高纯气体是指在纯净度很高的气体，其纯度通常高于99.99%。超高纯气体的作用非常广泛，主要包括以下几个方面：
电子工业：超高纯气体在电子工业中起着重要作用，如用于制造半导体器件、太阳能电池、显示面板等。
石油工业：超高纯气体在石油工业中也应用广泛，如用于油田勘探、开发、炼油等过程。
行业：超高纯气体在行业中也有广泛的应用，如用于呼吸、等。
科学研究：超高纯气体在科学研究中也有很重要的应用，如用于物理、化学、生物学等领域的高温反应、实验等。
总之，超高纯气体在各个领域都有广泛的应用，它的纯度越高，其应用价值就越高。
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